
サンプルに対して垂直にX線を照射する一般的な横型CTでは、アスペクト比のある大型基板などは断層データがノイズだらけになってしまいます。それに対し、Noixはユーセントリック機能を利用して斜め方向からX線を照射するため、大型基板でも360度方向同一条件での撮影ができます。
また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大倍率での断層撮影も可能です。特別な治具も不要で、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影ができるという高い操作性も実現しました。
| 撮影例 |
3次元斜めCTの撮影 |
一般的な横型CTの撮影 |
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3次元斜めCT(Noix)画像

1005チップ半田接合部クラック |

スタックIC3次元画像 |

挿入部品半田付け部半田量不足 |

50μmAuバンプ接合部クラック |

BGA半田接合部不良 |

0.4ミリピッチQFP半田接合部 |
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