テクノロジー

3次元斜めCT:Noix (特許取得済 No.3694833)

斜め方向からの撮影で大型基板も破壊することなく断層撮影

サンプルに対して垂直にX線を照射する一般的な横型CTでは、アスペクト比のある大型基板などは断層データがノイズだらけになってしまいます。それに対し、Noix-Light/Noixはユーセントリック機能を利用して斜め方向からX線を照射するため、大型基板でも360度方向同一条件での撮影ができます。
また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大倍率での断層撮影も可能です。特別な治具も不要で、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影ができるという高い操作性も実現しました。

■ 撮影例

3次元斜めCTの撮影
他社製品

■ 3次元斜めCT(Noix)画像


1005チップ半田接合部クラック

スタックIC3次元画像

挿入部品半田付け部半田量不足

50μmAuバンプ接合部クラック

BGA半田接合部不良

0.4ミリピッチQFP半田接合部

■ 関連製品