テクノロジー

ソフトウェア

多彩な線源、カメラに対応できるマルチデバイス制御ソフトウェアです。

マッピング機能

大型の部品やトレー上のサンプル全体をあらかじめ撮影することで、観察部位を確認しながら操作できます。

マウス操作機能

ステージ操作は、画面上の観察ポイントを自由にドラッグ&ドロップさせる事ができ、オペレーターはモニタから目を離すことなく、X線解析に集中することができます。

着目高さ自動合わせ機能

ユーセントリック機能および3次元斜めCTのベースとなる着目高さを自動的に合わせることができます。画面上の着目したいポイントにカーソルを合わせるだけで、着目ポイントを基準に動作します。

移動速度自動調節機能

画面上の倍率によってステージ移動スピードを自動調節するため、高倍率時でも誤ってステージを動かしすぎることがありません。

ティーチング機能

ステージの位置情報だけでなく、カメラ傾斜角度、X線条件も任意に登録し、記憶させることができるため、多数検査を効率よく実施できます。

撮影条件登録・呼出機能

あらかじめ撮影条件を登録しておき、観察するサンプルごとに同じ撮影条件を呼び出して撮影することができます。

計測機能

■ 寸法計測
2点間距離、2線間距離、角度などを計測。着目高さを基準に倍率表示するため、正確な計測ができます。

■ 面積計測
指定された領域内のボイド面積、ボイド率を計測。OK/NGのしきい値を設定しておけば、自動判定へ持ち込むこともできます。